バルブ（真空弁）
【高真空バルブ】
ディスク開放時のコンダクタンスを大きくとり､リーク量が少ない，ポンプの排気速度を損ないにくい設計となっています｡
・本体材質はSS400+ニッケルメッキ､SUS304等があります｡
・シール材質はニトリルゴム､フッ素ゴム等があります｡
・フランジは真空フランジVGガスケット溝付（JIS B2290）を採用しています｡
・リーク量（非作動時 Heリークディテクタにて検査）は1.3×10-9Pa・m3/sec以下です。
SV-Lシリーズ
手動式高真空バルブ
L字型で真空バルブの基本形です｡
SNV-Lシリーズ
空気圧式高真空バルブ
L字型で真空バルブの基本形です｡
ソレノイドバルブの電圧は任意に選べます｡
オプションとして開閉指示用スイッチがあります｡
耐圧防爆仕様も製作可能です｡
